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    當(dāng)前位置:首頁   >  產(chǎn)品中心  >  等離子清洗機(jī)  >  SCE射頻等離子清洗系統(tǒng)  >  SCE115等離子體表面活化處理機(jī)

    等離子體表面活化處理機(jī)

    簡要描述:應(yīng)用:
    芯片封裝,工業(yè)應(yīng)用,醫(yī)學(xué)應(yīng)用等,是小尺寸實驗室R&D 或小規(guī)模生產(chǎn)的理想選擇。

    • 產(chǎn)品型號:SCE115
    • 廠商性質(zhì):代理商
    • 更新時間:2025-07-01
    • 訪  問  量:2351

    詳細(xì)介紹

    等離子體表面活化處理機(jī)表面處理工藝:

    1、清洗                          

    去除納米級的殘留物

    加強(qiáng)打線鍵合前的粘著性

    2、滅菌處理

    去除表面殘留微生物

    3、表面刻蝕

    例如PTFE表面刻蝕或者硅表面微結(jié)構(gòu)

    4、活化

    渲染表面的親水性或疏水性

    鍵合和沉積前的表面預(yù)處理

    5、聚合處理

    沉積帶官能分子團(tuán)的聚合物

    等離子活化表面

    移植聚合物到活化后的材料表面

     

    等離子體表面活化處理機(jī)應(yīng)用領(lǐng)域

    REM TEM分析、考古學(xué)、小規(guī)模生產(chǎn)線

    人造橡膠工業(yè)、塑料工業(yè)、汽車工業(yè)、紡織工業(yè)

    半導(dǎo)體研發(fā)中心、半導(dǎo)體制造工廠

    制藥技術(shù)、傳感技術(shù)

    殺菌處理

    技術(shù)參數(shù):

    型號(Modle)

    SCE104

    SCE106

    SCE108

    SCE110

    SCE115

    SCE150

    SCE604

    腔室尺寸

    (Φ*L mm

    102 x 203

    152 x 203

    202 x 203

    254 x 457

    381 x 457

    254 x457

    帶平行極板

    102 x 203

    4

    腔體容積(L

    1.65

    3.71

    6.6

    23.2

    52.1

    23.2

    1.65

    腔體材質(zhì)

    石英艙體

    石英艙體

    石英艙體

    石英艙體

    石英艙體

    石英艙體

    石英艙體

    腔體形狀

    圓柱體

    圓柱體

    圓柱體

    圓柱體

    圓柱體

    圓柱體

    圓柱體

    頻率(MHz)

    13.56

    13.56

    13.56

    13.56

    13.56

    13.56

    13.56

    功率RF (W)

    0~150

    0~150

    0~600

    0~600

    0~1000

    0~300

    0~600

    可選功率

    RF(W)

    300

    300

    1000

    300/1000

    300/600

    600/1000

    300/1000

    控制方式

    手動

    手動

    自動調(diào)諧

    自動調(diào)諧

    自動調(diào)諧

    手動

    自動調(diào)諧

    外形尺寸 HxD, mm

    584 x 660 x 762

    584 x 660 x 762

    584 x 660 x 762

    560 x 914 x 711

    711 x1626 x 813

    N/L

    915 x 915 x 1829

    泵抽氣速率

    (立方英尺/min)

    3.8CFM

    3.8CFM

    3.8CFM

    23.3CFM

    42.4CFM

    14.7CFM

    23CFM

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