SPIN-300勻膠旋涂儀

簡要描述：SPIN-300勻膠旋涂儀（英文名：Spin Coater）適合半導體硅片的勻膠鍍膜
詳細介紹：勻膠機（英文名：Spin Coater& Spin Processor）
行業俗稱：勻膠臺、勻膠機、旋涂儀、涂膠機、鍍膜機、甩膠機

產品型號：POLOS300
廠商性質：代理商
更新時間：2025-07-01
訪問量：3756

產品分類

勻膠機/勻膠旋涂儀

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詳細介紹

1、勻膠機工作原理：

SPIN-300勻膠旋涂儀（spin coater）的工作原理是高速旋轉基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上，勻膠機常用于各種溶膠凝膠（Sol-Gel）實驗中的薄膜制作，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同，也和旋轉速度及時間有關。

2、勻膠機型號及技術參數如下：

型號	SPIN150i	SPIN200i	POLOS300	POLOS450	POLOS600
基片范圍	直徑160mm or 4?方片	直徑260mm or 6?方片	直徑360mm or 8?方片	直徑460mm or 350mm方片	直徑600mm or 430mm方片
程序段數	無限制	無限制	無限制	無限制	30個程序
操作步數	無限制	無限制	無限制	無限制	90個步驟
旋轉速度	0-12,000 rpm ±1rpm steps	0-12,000 rpm ±1rpm steps	0-12,000 rpm ±1rpm steps	0-1500rpm ±1rpm steps	0-1,500 rpm ±1rpm steps
旋轉精度	±0.1 rpm	±0.1 rpm	±0.1 rpm	±0.1 rpm	±0.1 rpm
旋轉方向	順時針、逆時針、交換擺	順時針、逆時針、交換擺	順時針、逆時針、交換擺	順時針、逆時針、交換擺	順時針、逆時針
加速度	30,000 rpm/sec	30,000 rpm/sec	30,000 rpm/sec	≤1500rpm時取決于負載	500 rpm/sec
旋轉時間	無限制*,± 0.1 seconds steps	無限制*,± 0.1 seconds steps	無限制*,± 0.1 seconds steps	無限制*,± 0.1 seconds steps	1 to 999 sec/step
腔體直徑	202 mm	302 mm	402 mm	502 mm	642mm
外形尺寸 (whd )	274 x 250 x 451 mm	380 x 307 x 559mm	430 x 310 x 650mm	795 x 638 x 922mm	800 x 1,450 x 1,650mm
觸屏控制	全彩觸屏控制	全彩觸屏控制	全彩觸屏控制	全彩觸屏控制	全彩觸屏控制
設備重量	14Kg	20Kg	32Kg	75Kg
電源參數	220V,50/60 Hz	220V,50/60 Hz	220V,50/60 Hz	220V,50/60 Hz	220V,50/60 Hz

三、勻膠機的特點：

1、該SPIN-300勻膠旋涂儀采用德國*技術：
2、勻膠機采用NPP天然聚丙烯材質構造設計，這種材質有很好的抗腐蝕性和抗化學物性，美觀大方；
3、勻膠機真空Chuck經精密加工制成，具有良好的光潔度及平整度，保證晶圓片被很好地吸附，主軸采用進口微型單列向心球軸承支撐，軸向有彈性墊及調整墊，可保障主軸具有較高的精度。
4、在安裝結構上，采取了減振措施，保證了在運轉時噪音很低，保證涂覆表面均勻，保證通過調節轉速調節涂覆厚度。
5、勻膠機腔體配備吹氮(N2)功能，或壓縮空氣、氮氣壓力可通過調壓閥和節流閥實現調節，與配套真空泵一同使用。