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    當前位置:首頁   >  產品中心  >  探針臺  >  MicroXact探針臺  >  SPS系列MicroXact標準半自動探針臺

    MicroXact標準半自動探針臺

    簡要描述:MicroXact的半自動探針臺提供多種選擇,包括加熱/冷卻晶圓卡盤,標準或數字顯微鏡以及可編程平臺分度,為您的所有高效設備表征提供經濟高效且易于使用的解決方案。晶圓級可靠性測試需求。這些半自動探針臺有三種選擇(標準,高精度和高速)。

    • 產品型號:SPS系列
    • 廠商性質:代理商
    • 更新時間:2025-07-01
    • 訪  問  量:2344

    詳細介紹

    XY平臺和壓板的精密電機控制。還可提供額外的預載滑塊,以便于裝載和卸載晶圓或樣品。

    光滑的粉末涂層鋼板可容納多達10個磁性或真空定位器。

    通過位于站兩側的終端隔離饋通,可以方便地連接微定位器,可以為BNCTriaxBanana插頭連接進行定制。

    標準吊桿安裝組件,用于顯微鏡的全范圍XYZ定位。

    可用的高分辨率微定位器,帶80TPI螺釘,用于探針的μm級定位。

    可用的RF選項包括可定制的RF探頭,RF偏置卡盤和屏蔽罩。

     

    高分辨率復合顯微鏡。

    偏光顯微鏡。

    廣泛的相機選擇。

    射頻可偏置卡盤和屏蔽罩。

    拋光鍍金可調節真空吸盤。

    超*真空泵。

    標準半自動化系統

    電動XY夾頭,SPS-2600中的電動壓板,SPS 2800中卡盤的電動Z軸運動,標準配置。Motorized theta是一種選擇。

    基于步進電機,無編碼器。

    成本競爭力

    強烈推薦用于需要低于0°C的測試或屏蔽的應用

    可用選項:加熱或冷卻卡盤,變焦鏡或復合顯微鏡,各種屏蔽,用于直流和射頻測量的卡盤選擇等等

    型號

    SPS-2800

    SPS-2600

    晶圓尺寸

    高達200mm

    高達100mm

    電機類型

    步進電機

    XY舞臺行程

    高達200mmx200mm

    高達125mmx125mm

    XY舞臺分辨率

    電動,6.5μm重復性

    顯微鏡

    高品質立體聲變焦,工作距離可達200??mm,放大倍率范圍為3.5X180X

    饋通終端

    BNCTriax或香蕉插頭

    系統尺寸

    122厘米寬x122厘米深x 92厘米高

    78厘米寬x80厘米深x 58厘米高

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