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詳細介紹
SPS 2600-HP，SPS 2800-HP和SPS 12000-HP系列系統是MicroXact的半自動探針臺，設計靈活，易于使用，可用于高效設備表征，晶圓級可靠性測試和故障分析。這些半自動探針臺系統設計用于支持多200mm晶圓的手動和半自動探測。
高分辨率復合顯微鏡。
偏光顯微鏡。
廣泛的相機選擇。
射頻可偏置卡盤和屏蔽罩。
拋光鍍金可調節真空吸盤。
超*真空泵。
溫度范圍為-65°C至> 400°C的熱卡盤（也可以使用更高的溫度）。
適用于超聲波和激光切割的系統。
可選擇XY平移臺和超堅固的焊接鋼橋，用于高分辨率顯微鏡。
高分辨率復合顯微鏡。
偏光顯微鏡。
廣泛的相機選擇。
射頻可偏置卡盤和屏蔽罩。
拋光鍍金可調節真空吸盤。
超*真空泵。
溫度范圍為-65°C至> 400°C的熱卡盤（也可以使用更高的溫度）。
適用于超聲波和激光切割的系統。
可選擇XY平移臺和超堅固的焊接鋼橋，用于高分辨率顯微鏡。
| 型號 | SPS-12000-HP | SPS-2800-HP | SPS-2600-HP |
| 晶圓尺寸 | 高達300mm | 高達200mm | 高達100mm |
| 電機類型 | 步進電機 | ||
| XY舞臺行程 | 高達300mmx300mm | 高達200mmx200mm | 高達100mmx100mm |
| 饋通終端 | BNC，Triax或香蕉插頭 | ||
| 系統尺寸 | 101CM寬x91CM深x 88CM高 | 122CM寬x122CM深x 92CM高 | 78CM寬x80CM深x 58CM高 |
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