光譜橢偏儀帶自動監測

光譜橢偏儀帶自動監測

橢圓偏振光譜（SE）是一種成熟的光學技術，用于以非破壞性和非接觸方式表征塊狀材料，薄膜，涂層，表面層和嵌入層。對于常規和晶圓廠加工質量控制，必須有一個自動盒式裝卸機。為此，我們開發了一種低成本解決方案，可將晶圓尺寸從2“擴展到8”（臺式），將塔式尺寸擴展到12“。用戶甚至可以為每個插槽定義配方，從而為整個盒式磁帶測量定義配方。

應用范圍：

半導體制造（PR，氧化物，氮化物..）

液晶顯示器（ITO，PR，液晶盒間隙…..）

光學涂料，TiO2，SiO2，Ta2O5…..

半導體化合物

MEMS / MOEMS中的功能膜

非晶，納米和晶體硅

光伏薄膜，CdTe，CdS，CIGS，AZO，CZTS .....

特征：

水平樣品放置

價格合理，成本低廉，設計緊湊

易于與基于Windows的軟件一起使用；高級用戶的科學模式，日常操作員模式

可變入射角，用戶可定義分辨率

全面的光學常數數據庫和模型配方

*TFProbe軟件允許用戶定義具有NK表，色散或EMA混合物/復合材料的層以及索引等級以及表面/界面粗糙度...

可通過各種選件和附件進行升級和重新配置

晶圓厚度：200µm至1mm（弓形<1.5mm，無翹曲）

前載紙盒

帶有傳感器的高速電梯

包括盒式磁帶映射器（檢測空插槽和交叉開槽的晶圓）

包含臺載傳感器

包含用于平板或槽口的預對準器

EMO緊急關機開關

中心觸點末端執行器與橢圓偏振儀工具上的晶片支架匹配

兼容潔凈室

易于使用的可調節水平腳，并牢固橋接至橢圓儀框架

緊湊的設計，所有電子設備內置在裝載機中

通用電源輸入

通過USB與計算機通信，與Ellipsometer共享一臺計算機和顯示器

升級的TFProbe SW具有集成的晶圓處理功能，易于操作

特殊設計的帶有真空吸盤的新型晶圓支架，可將晶圓固定在適當位置

系統配置：

根據不同的應用，光譜橢偏儀可以配置SE200BM，SE300BM和SE500BM或其他型號。

總重量：300磅

尺寸：60英寸（長）x 35英寸（長）x 35英寸（高）

電源：通用輸入100-240 VAC，6A，50-60 H

真空源：小70 kPa（21 Hg），帶有1/4英寸的供氣管