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    當前位置:首頁   >  產品中心  >  濕法刻蝕顯影清洗系統  >  Ultra T  >  CESx124UltraT進口濕法刻蝕和剝離系統

    UltraT進口濕法刻蝕和剝離系統

    簡要描述:UltraT進口濕法刻蝕和剝離系統專為滿足當今晶圓、光掩模和基板的前沿應用的特殊工藝需求而設計。這款高效的蝕刻和清潔系統CESx124、126、128或133是理想選擇,可滿足不同大小尺寸的晶片、光掩模和襯底,不論是從小直徑還是非常大直徑。

    • 產品型號:CESx124
    • 廠商性質:代理商
    • 更新時間:2025-07-02
    • 訪  問  量:3002

    詳細介紹

    簡介:這款蝕刻和清潔系統專為滿足當今晶圓、光掩模和基板的前沿應用的特殊工藝需求而設計。這款高效的蝕刻和清潔系統CESx124126128133是理想選擇,可滿足不同大小尺寸的晶片、光掩模和襯底,不論是從小直徑還是非常大直徑。CESx可以配置多種工藝分配選項,Megasonic噴嘴對DI H20或化學藥品的處理分配選項;用于化學制劑的低壓噴嘴;化學加熱器和DI-H20;用于表面攪拌以加快反應的刷子,和/DI H20等。

    可編程拋物線機械臂運動有助于確保均勻蝕刻。快速有效的干燥技術結合了可變的旋轉速度;可選加熱DI-H20和氮氣輔助。該系統非常安全,在接近基底之前,可以通過“漂洗至pH 盡量減少對化學物質的接觸。

     

    特點:

    • 專為重要控制和安全而設計的系統。
    • 多達9x9英寸/ 300mm直徑的基板兼容性。
    • 主軸組件具有直流無刷伺服電機,可實現準確的速度控制和分度。
    • 特氟龍涂層不銹鋼臂可調節臂速度和行進位置。
    • 徑向排氣腔,用于大層流,蓋子頂部有N2進料。
    • DI-H20加熱器,用于清潔和干燥輔助。
    • 過程中包含化學相容性材料PVDF或可選的PTFE
    • 獨立式聚丙烯柜。
    • 微處理器控制功能可以在存儲器中保留三十(30)步的配方,每個配方有三十(30)步。配方和步驟的數量均可根據要求擴展。
    • 內置安全聯鎖和雙重控制。
    • 用聯鎖裝置沖洗整個工藝區域和基材的pH值,以禁止進入工藝區域并控制排放和主軸轉速直到安全。
    • 按鈕蓋打開/關閉。
    • 觸摸屏圖形用戶界面(GUI),易于編程和安全鎖定,并帶有屏幕錯誤報告。
    • 用于化學和房屋排水的排水分流閥。
    • 設計符合SEMI S2 / S8準則。

     

    技術參數:

    • 產品:蝕刻和剝離系統
    • 型號:CESx124
    • 可用機械臂:4
    • 大基板尺寸:13英寸直徑
    • 大主軸速度:2500
    • 配方:高達30
    • 分配管路:12

     

    主營產品:

    Laurell勻膠機    

    Harrick等離子清洗機

    Thetametrisis膜厚儀 

    Microxact探針臺

    ALD原子層沉積系統

    TRION反應離子刻蝕機

    Uvitron紫外固化箱

    NXQ紫外曝光光刻機      

    Novascan紫外臭氧清洗機

    Nilt納米壓印機

    Wenesco/EMS/Unitemp/NDA加熱板

    Annealsys高溫退火爐

    Kinematic程序剪切儀

    Laurell EDC系統,濕站系統    

    Wabash/Carver自動壓片機

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