德國Diener等離子清洗機(jī)

型號為Femto的德國Diener等離子清洗機(jī)可以組合成不同的派生型，例如組合成模塊系統(tǒng)。下面是能夠與 Femto 等離子系統(tǒng)組合使用的最常見選裝件的概覽。型號為Femto的德國Diener等離子清洗機(jī)主要應(yīng)用于以下領(lǐng)域：

分析、考古、汽車、研究和開發(fā)部門、半導(dǎo)體技術(shù)、小批量生產(chǎn)、塑料技術(shù)、醫(yī)療技術(shù)、微系統(tǒng)技術(shù)、傳感技術(shù)、滅菌、紡織技術(shù)

1.基本裝備

根據(jù)具體組件/選裝件，外殼會有所不同

腔室容積：根據(jù)具體版本，分為 1.9 - 6 升

供電電源：臺式設(shè)備為 230 V，立式設(shè)備為 400 V/3 相位

2.真空腔室

圓形不銹鋼，帶蓋（約 ∅ 100 mm，長 278 mm 或長 600 mm）

矩形不銹鋼，帶鉸鏈的門（約寬 103 x 深 285 x 高 103）

矩形鋁材，帶鉸鏈的門（約 ∅ 103 mm x 103 mm，長 280 mm 或長 600 mm）

圓形石英玻璃 (UHP)，配有蓋子或者帶鉸鏈的門（約 ∅ 95 mm，長 280 mm 或長 600 mm）

圓形硼硅玻璃 (UHP)，配有蓋子或者帶鉸鏈的門（約 ∅ 95 mm，長 280 mm 或長 600 mm

3.裝載件：

產(chǎn)品支架（選項(xiàng)：水冷型），石英玻璃舟皿，粉末轉(zhuǎn)鼓 ，散裝件轉(zhuǎn)鼓 ，鋁板，不銹鋼板，硼硅玻璃，石英玻璃

4.電機(jī)：單層或多層，RIE

5.控制系統(tǒng)

半自動型

Basic PC 控制系統(tǒng) (Microsoft Windows CE)

Full PC 控制系統(tǒng) (Windows 10 IoT)

6.壓力測量：Pirani，電容式壓力計(jì)（適用于腐蝕性氣體版本）

7.計(jì)時器：數(shù)字

8.發(fā)生器

頻率：    

40 kHz：功率 0 - 100 W；0 - 1000 W

100 kHz：功率 500 W

80 kHz：功率 1000 W

13.56 MHz： 功率 0 - 200 W

2.45 GHz：功率 0 - 100 W；0 - 300 W

所有發(fā)生器均為 0 - 100% 無級可調(diào)型

9.真空泵：不同規(guī)格，來自不同制造商（根據(jù)需要配備活性炭過濾器）

10.其他選項(xiàng)

備件套件、壓力計(jì)、腐蝕性氣體設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、法拉利籠、等離子體聚合配件、測試墨水、氧氣發(fā)生器、慢速通風(fēng)裝置、慢速抽吸裝置、TEM 樣品架法蘭、維護(hù)/服務(wù)、當(dāng)?shù)卣Z言的文件、現(xiàn)場安裝，包括培訓(xùn)。可應(yīng)要求提供的其他選項(xiàng)。