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    桌面微型紫外光刻機

    簡要描述:桌面微型紫外光刻機,專為微米級圖案制作而設計,旨在保障圖形轉移精度,其緊湊的體積將移形換影置于桌面之上,為操作提供了便利與精準。

    • 產品型號:GK100
    • 廠商性質:代理商
    • 更新時間:2025-07-02
    • 訪  問  量:1749

    詳細介紹

     桌面微型紫外光刻機

    1. 產品介紹
      桌面微型紫外光刻機,專為微米級圖案制作而設計,旨在保障圖形轉移精度。設備采用紫外LED冷光源,結合雙非球面石英透鏡,可生成半角<2°的平行光,相較傳統接觸式曝光機,其緊湊的體積將移形換影置于桌面之上,為操作提供了便利與精準。
      該光刻機廣泛適用于微流控芯片、MEMS器件、光電子器件以及聲表面波器件等制備領域。其性能尤其適合高校、科研院所以及企業展開微細加工工藝研究。緊隨現代技術的步伐,桌面微型光刻機的問世為微納加工注入了新的活力,助力客戶在項目目標的實現過程中邁向更高精度、更具創新性的階段。

    2. 技術參數

      曝光光源:紫外LED;

            光源波長:365nm;

            曝光面積:4英寸、6英寸可選;

            曝光方式:單面接觸式定時曝光;

            曝光分辨率:2um;

            曝光強度:30~120mW/cm2可調;

            曝光不均勻性:<5%;

            光源平行性:≤2°

            光源壽命:>20000h;

            電源輸入:AC220V+10V,50HZ

        

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