德國(guó)進(jìn)口 POLOS勻膠機(jī) SPS旋涂?jī)xSPIN

POLOS SPIN300x

 我們?nèi)赂倪M(jìn)設(shè)計(jì)的POLOS® SPIN300x勻膠機(jī)型號(hào)現(xiàn)已開(kāi)放訂購(gòu)。該型號(hào)提供精準(zhǔn)且可重復(fù)的工藝控制，主體材質(zhì)采用天然聚丙烯（NPP），或可選耐化學(xué)腐蝕的**聚四氟乙烯（PTFE）**版本。

德國(guó)進(jìn)口 POLOS勻膠機(jī) SPS旋涂?jī)xSPIN基于市場(chǎng)驗(yàn)證的經(jīng)典型號(hào)升級(jí)開(kāi)發(fā)，提供標(biāo)準(zhǔn)版與進(jìn)階版兩種配置，可兼容處理：

①直徑最大300 mm的圓形基板

②200×200 mm的方形樣品

專為半導(dǎo)體、光伏、MEMS及納米材料領(lǐng)域設(shè)計(jì)，適用于多種基材的涂覆加工，性能可靠，適配嚴(yán)苛工藝要求。

一．創(chuàng)新設(shè)計(jì)亮點(diǎn)

優(yōu)秀的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

特殊外殼與排水系統(tǒng)設(shè)計(jì)，支持桌面式與嵌入式安裝模式自由切換。模塊化結(jié)構(gòu)允許用戶通過(guò)多樣化配件升級(jí)設(shè)備，優(yōu)化點(diǎn)膠操作與整體流程便捷性。

二．電機(jī)歸位位置自定義

全新SPINx系列支持設(shè)定電機(jī)歸位位置，便于無(wú)縫集成至機(jī)器人控制/自動(dòng)化產(chǎn)線環(huán)境。

三．便捷腔體訪問(wèn)

真空吸盤(pán)高于勻膠碗邊緣，確保機(jī)械手末端執(zhí)行器、鑷子或真空吸筆可直接觸達(dá)晶圓/基板，滿足機(jī)器人操作的特殊需求。

四．自動(dòng)開(kāi)蓋系統(tǒng)

可通過(guò)用戶界面或腳踏開(kāi)關(guān)（適配手套箱環(huán)境操作）實(shí)現(xiàn)蓋體自動(dòng)開(kāi)閉

支持在工藝配方結(jié)束時(shí)自動(dòng)觸發(fā)開(kāi)蓋動(dòng)作

五．液體過(guò)濾保護(hù)裝置

德國(guó)進(jìn)口 POLOS勻膠機(jī) SPS旋涂?jī)xSPIN系列配備液體過(guò)濾器，有效保護(hù)勻膠機(jī)核心組件（驅(qū)動(dòng)單元、真空閥、真空傳感器及伺服控制器）。該裝置可攔截通過(guò)工藝腔或真空吸盤(pán)進(jìn)入管路的液體，所有光刻膠或流體將被安全收集至透明觀察瓶?jī)?nèi)（通過(guò)設(shè)備外殼視窗可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)）。維護(hù)建議：定期檢查收集瓶并按需清理殘留液體。

六．適用工藝范圍

涂覆（Coating）

清洗（Cleaning）

沖洗/干燥（Rinse/Dry）

顯影（Developing）

蝕刻（Etching）

PDMI及其他特殊工藝

1. SPIN200x硬件規(guī)格

1. 驅(qū)動(dòng)單元技術(shù)參數(shù)

   1.驅(qū)動(dòng)類型：間接無(wú)刷電機(jī)，最高轉(zhuǎn)速12,000 RPM

   2.控制精度：高加速性能，轉(zhuǎn)速范圍1 - 30,000 RPM（需確認(rèn)實(shí)際可達(dá)性）

   3.旋轉(zhuǎn)模式：順時(shí)針/逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)及靜態(tài)浸潤(rùn)（Puddle Mode）

   4.安裝兼容性：支持桌面式與嵌入式模式切換

2. 版本區(qū)別