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    AZ1500系列i線光刻膠

    簡要描述:AZ1500系列i線光刻膠高感光度標準G線正型光刻膠
    為廣泛應用于半導體制造領域而優化的高感光度G線正型光刻膠
    特征:
    1) 高感光度,高產出率
    2) 高附著性,特別為濕法刻蝕工藝改進
    3) 廣泛應用于*半導體行業

    • 產品型號:AZ1500(4.4cp)
    • 廠商性質:代理商
    • 更新時間:2025-08-04
    • 訪  問  量:773

    詳細介紹

    高感光度標準G線正型光刻膠

     AZ1500系列i線光刻膠

    為廣泛應用于半導體制造領域而優化的高感光度G線正型光刻膠

    特征:

     1) 高感光度,高產出率

     2) 高附著性,特別為濕法刻蝕工藝改進

    3) 廣泛應用于*半導體行業

     

    AZ1500系列i線光刻膠參考工藝條件:

    前烘 :100℃ 60 (DHP)

    曝光 :G線步進式曝光機/接觸式曝光機

    顯影 :AZ300MIF (2.38%) 23℃ 60 Puddle

    清洗 :去離子水30

    后烘 :120℃ 120 (DHP)

    剝離 :AZ剝離液及/或氧等離子體灰化

     

    產品型號:AZ1500

    Viscosity:4.4mPa 20mPa 38mPa 90mPa

     

    AZ1500系列i線光刻膠 旋涂曲線:

     

    AZ1500系列i線光刻膠 圖案輪廓:


     

     

     


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