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上海納動(dòng)納米位移技術(shù)有限公司
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產(chǎn)品型號(hào)
品 牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地上海
聯(lián)系方式：石查看聯(lián)系方式
更新時(shí)間：2025-10-29 09:32:34瀏覽次數(shù)：96次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 智能制造網(wǎng)應(yīng)用領(lǐng)域：顯微鏡、納米定位、生物技術(shù)、測(cè)試應(yīng)用、半導(dǎo)體技術(shù)、光子、光纖定位
規(guī)格型號(hào)1 PS1H30-015U-S PS1H30-030U-S PS1H30-045U-S PS1H30-060U-S 公差8 運(yùn)動(dòng)軸 X X X X - 集成傳感器 SGS SGS SGS SGS - 標(biāo)稱行程范圍2（@0~+120V） 15 μm 30 μm 45 μm 60μm ±5% 行程范圍2（@-20~+150V） 20 μm 40 μm 60 μm 80 μm ±20% 分辨率3 0.1 nm 0.2 nm 0.3 nm 0.4nm typ. 最小移動(dòng)步長4 0.5 nm 1 nm 1.5 nm 2 nm typ. 線性誤差 0.02%~0.05% 0.1% 0.1% 0.1% typ. 重復(fù)定位精度（全行程） 0.02% 0.05% 0.05% 0.05% typ. 角擺偏差（俯仰/偏擺/滾轉(zhuǎn)） 5 μrad 5 μrad 5 μrad 5 μrad typ. 承載能力5 水平20 N、垂直50N 水平20 N、垂直50N 水平20 N、垂直50N 水平20 N、垂直50N Max. 諧振頻率（0g） 3500 Hz 1400 Hz 1100 Hz 1000 Hz ±20% 運(yùn)動(dòng)方向剛度 40 N/μm 16 N/μm 11 N/μm 10 N/μm ±20% 運(yùn)動(dòng)方向推力/拉力 100N / 20N 100N / 20N 100N / 20N 100N / 20N ±20% 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu) PZT PZT PZT PZT - 工作溫度范圍 -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ -20~+80 ℃ typ. 線纜長度6 1.5 m 1.5 m 1.5 m 1.5 m ±10mm 中空尺寸 - - - - - 外形尺寸（長×寬×高） 44 ×30 ×15 mm 62×30 ×15 mm 80 ×30 ×15 mm 98 ×30 ×15 mm - 重量7 131 g 170 g 300 g 380g ±5% PZT&Sensor連接器 LEMO LEMO LEMO LEMO - 本體材質(zhì) 鋼 鋼 鋼 鋼 - 注：所有規(guī)格參數(shù)基于室溫（22°C±3°C）測(cè)得，欲了解更多信息，請(qǐng)與我們聯(lián)系。表中“-"表示為不適用。 1.尾綴“-S"為閉環(huán)，內(nèi)置位置傳感器。開環(huán)尾綴不帶“-S，無線性誤差、重復(fù)度數(shù)據(jù)。 2.驅(qū)動(dòng)電壓為-20V~+150V，對(duì)于高可靠的長期使用，建議驅(qū)動(dòng)電壓在 0...+120V，更大行程請(qǐng)咨詢。出廠為標(biāo)稱行程。 3.分辨率即定位噪聲。因?yàn)閴弘娞沾杉{米定位系統(tǒng)無摩擦，所以系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測(cè)量技術(shù)的限制。通常使用RMS（1σ）值進(jìn)行測(cè)量和指定。 閉環(huán)分辨率為傳感器噪聲，驅(qū)動(dòng)器電子噪聲和命令噪聲等的組合。 4.指通過干涉儀測(cè)得的壓電平臺(tái)可移動(dòng)的最小步長值，它主要由壓電控制器的DAC分辨率決定。情況下，參數(shù)表中為16-Bit對(duì)應(yīng)的位移步長值。 5.軸向載荷，更高的負(fù)載請(qǐng)咨詢，注意超出標(biāo)稱負(fù)荷會(huì)對(duì)柔性機(jī)構(gòu)造成損壞。 6.更長的線纜長度請(qǐng)咨詢。 7.臺(tái)體重量不包括線纜及連接器的重量。 8.公差中Max.表示值；typ.表示標(biāo)準(zhǔn)典型數(shù)據(jù)值，檢測(cè)報(bào)告中會(huì)給出實(shí)際的測(cè)量數(shù)據(jù)值。
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