AST-MX12R 半導體 \FPD 檢查顯微鏡

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更新時間：2026-05-25 11:27:26瀏覽次數：23次

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蘇州艾視特光學儀器有限公司

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產品簡介

產品描述：新的MX12R半導體/FPD檢查顯微鏡，支持300mm晶圓及17英寸液晶面板的檢查，含4、6、8、12英寸多種轉盤，可適用不同尺寸的晶圓檢查

詳細介紹

AST-MX12R 半導體 FPD 檢查顯微鏡2.jpg

產品描述：

新的MX12R半導體 /FPD 檢查顯微鏡，支持 300mm 晶圓及 17英寸液晶面板的檢查，含 4、6、8、12英寸多種轉盤，可適用不同尺寸的晶圓檢查。人機工程學設計全面提升，為用戶提供更加舒適、靈活、快捷的操作體驗。

詳細參數：

光學系統	無限遠色差校正光學系統
觀察方式	明場/暗場/偏光/DIC
觀察筒	無限遠鉸鏈三通觀察筒,0-35°傾角可調,正像,瞳距調節 :50-76mm，分光比 100:0 或 0:100
目鏡	高眼點大視野平場目鏡 PL10X/25mm，視度可調，可帶單刻度十字分劃版
物鏡	無限遠明暗場半復消金相 DIC 物鏡 5X 10X 20X 50X 100X
	無限遠長工作距明暗場半復消金相 DIC 物鏡 20X
	無限遠長工作距明暗場半復消金相物鏡 50X 100X
轉換器	明暗場六孔電動轉換器，帶 DIC 插槽
機架組	反射式機架，前置低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程35mm，微調精度0.001mm。帶有防止下滑的調節松緊裝置和隨機上限位裝置。內置 100-240V 寬電壓系統
機架組	透反機架，前置低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程 35mm，微調精度 0.001mm。帶有防止下滑的調節松緊裝置和隨機上限位裝置。內置 100-240V 寬電壓系統
載物臺	右手位 14×12 英寸三層機械移動平臺，低手位 X、Y 方向同軸調節；平臺面積 718mmX420mm，移動范圍：356mmX305mm
載物臺	帶離合器手柄，可用于全行程范圍內快速移動；玻璃載物臺板 ( 反射用）
電動平臺	面積 495mmX641mm，移動范圍：306mmX306mm ；軟件控制 X、Y 移動，重復定位精度，（3+L/50）μm 帶平板平臺
照明系統	明暗場反射照明器 , 帶可變電動孔徑光闌，視場光闌 , 中心均可調；帶明暗場照明切換裝置；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽
攝影攝像附件	0.5X/0.65X/1X 攝像接筒，C 型接口，可調焦
其他	起偏鏡插板，固定式檢偏鏡插板，反射用干涉濾色片組；高精度測微尺；DIC 組件