EDC-650顯影機開機啟動適用工藝
EDC-650顯影機是一種既可用于精密勻膠操作，又可用于半導體顯影和清洗的臺面式設備，它可以實現價值百萬美元設備的上才可能達到穩定性和均勻性。
EDC-650顯影機要注意的問題如下：
①開機前就應該啟動顯影機給顯影液預熱，待顯影液溫度達到設定的溫度值再開始顯影。
?、诙ㄆ谇逑达@影槽和顯影槽中的各種膠輥，以避免印版帶臟、刮傷等現象的出現。
③清洗涂膠的膠輥，以免膠輥干結從而對驅動電機造成損害。
?、茏⒁怙@影液的疲勞程度,及時地更換顯影液。
EDC-650顯影機適用工藝（包括但不限于下述濕法制程）
光刻膠顯影（KrF/ArF）
SU8厚膠顯影
顯影后清洗
PostCMP清洗
光罩去膠清洗
光刻膠去除
金屬Lift-off處理
刻蝕微刻蝕處理
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