你了解NXQ4006光刻機(jī)嗎？先從其工作過程開始吧！

　　NXQ4006光刻機(jī)（lithography）又名：掩模對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)，曝光系統(tǒng)，光刻系統(tǒng)等，是制造芯片的核心裝備。它采用類似照片沖印的技術(shù)，把掩膜版上的精細(xì)圖形通過光線的曝光印制到硅片上。通俗易懂的說，光刻機(jī)就是在制造芯片時(shí)*的工具，沒有光刻機(jī)就沒有芯片。

　　NXQ4006光刻機(jī)工作過程詳細(xì)介紹

　　1.打開NXQ4006光刻機(jī)電源開關(guān)，（右表板上標(biāo)有“電源”字的開關(guān)），燈亮，氣壓表顯示數(shù)值。

　　此時(shí)檢查左表板上的“系統(tǒng)真空”表，看是否保持真空度≥-0.07MPa以上，否則要檢查漏氣原因并消除之。

　　2.打開汞燈電源（左表板上標(biāo)有“汞燈”字樣的開關(guān)），指示燈亮。

　　此時(shí)觀察電流表指針，直到指到4A左右，說明汞燈已點(diǎn)燃。

　　至少要15分鐘以后，汞燈亮度才能穩(wěn)定，操作者才能進(jìn)行以下工作。

　　3.調(diào)節(jié)NXQ4006光刻機(jī)氣壓（左表板）

　　觀察進(jìn)氣壓力，是否≥0.3Mpa，然后調(diào)節(jié)“給定壓力”=0.1kg/cm2。

　　4.“真空吸版”

　　將版放到版夾盤上，按“真空吸版”開關(guān)（面板上標(biāo)有“吸版”字樣的開關(guān)），指示燈亮。版被吸牢。如果“系統(tǒng)真空表”因這一動(dòng)作而掉表，應(yīng)查明原因，是否版不平，或者版和版夾盤上有雜物。

　　5.“真空吸片”

　　檢查承片臺(tái)表面是否清潔，放上片，按“真空吸片”開關(guān)，（面板上標(biāo)有“吸片”字的開關(guān)）燈亮，片被吸牢。

　　如果片的底面不平，片不規(guī)則（如碎片）等，片的吸牢程度降低，而且“系統(tǒng)真空表”有掉表現(xiàn)象，如果嚴(yán)重，將影響吸片牢度。

　　6.光刻機(jī)承片臺(tái)上升并使片頂版。

　　NXQ4006光刻機(jī)是半導(dǎo)體生產(chǎn)制造的主要生產(chǎn)設(shè)備之一，也是決定整個(gè)半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝水平高低的核心技術(shù)機(jī)臺(tái)。半導(dǎo)體技術(shù)發(fā)展都是以光刻機(jī)的光刻線寬為代表。光刻機(jī)通常采用步進(jìn)式(Stepper)或掃描式(Scanner)等，通過近紫外光(NearUltra-Vi—olet，NUV)、中紫外光(MidUV，MUV)、深紫外光(DeepUV，DUV)、真空紫外光(VacuumUV，VUV)、極短紫外光(ExtremeUV，EUV)、X-光(X-Ray)等光源對(duì)光刻膠進(jìn)行曝光，使得晶圓內(nèi)產(chǎn)生電路圖案。一臺(tái)光刻機(jī)包含了光學(xué)系統(tǒng)、微電子系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)系統(tǒng)、精密機(jī)械系統(tǒng)和控制系統(tǒng)等構(gòu)件。