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XPR3 XP31-210010000 英福康銷售維修中心介紹，INFICON的Pirani標(biāo)準(zhǔn)真空計PSG500和PSG502-S代表封裝在堅固耐用小型管殼內(nèi)的*的Pirani技術(shù)溫度補(bǔ)償提供快速與穩(wěn)定的真空測量并消除了對大氣壓強(qiáng)反應(yīng)慢的問題。堅固耐用的不銹鋼傳感單元更適用于半導(dǎo)體系統(tǒng)，以及常規(guī)用途如前級真空管道中。

特點

占空間小

任何方位安裝

不銹鋼測量單元的金屬密封饋入件更佳化的溫度補(bǔ)償易于集成的對數(shù)訊號輸出至10巴壓力的高過壓能力，用螺紋連接件烘烤型在法蘭處可達(dá)到250°C易于更換的傳感單元應(yīng)用控制高真空電離真空計前級真空壓強(qiáng)監(jiān)測真空系統(tǒng)中的安全電路在中真空和粗真空范圍內(nèi)的一般真空測量與控制。

如何選擇INFICON真空計

一，皮拉尼真空計

1.皮拉尼真空計原理

加熱電阻絲，使之升溫至需要的工作溫度

由于氣體粒子與電阻絲碰撞離開時帶走了能量，電阻絲的溫度會發(fā)生變化

熱絲的能量損失與熱絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關(guān)系。

2.衍生出兩種類型的皮拉尼規(guī)

1，穩(wěn)定溫度，測量施加的電壓變化等效測量真空度（INFICONPSG500）2，穩(wěn)定電壓，測量溫度變化等效測量真空度（熱偶規(guī)）

3.氣體的熱傳導(dǎo)，與下列提條件有關(guān)：

1，氣體類型2，壓力大小

4.皮拉尼真空計測量范圍與精度

測量范圍（空氣，氧氣，一氧化碳，氮氣）：5x10-4至1000mbar

精度（氮氣）：1x10-3…100毫巴±15%

5x10-4…1x10-3

毫巴±50%100…1000毫巴±50%

5.皮拉尼真空計的優(yōu)特點

燈絲部分在不影響精度與速度的情況下，加以更大的保護(hù)，大大延長了燈絲的使用壽命

6.皮拉尼真空計具體型號

101-S計PCG400PCG410PCG550規(guī)信號

7.皮拉尼真空計應(yīng)用行業(yè)

光伏，鍍膜，等離子行業(yè)控制，如PEG100經(jīng)停產(chǎn)）與z1，與PSG500/PSG050基本相同，但因為具有通訊協(xié)zPSG050/051

zPSG100-SPSGzPSG500/500-SPSG502

z皮拉尼電容膜片復(fù)合真空1.有皮拉尼規(guī)與特制的陶瓷薄膜規(guī)合成在一起2.兩種原理的規(guī)管全過程都工作

3.100mbar—1000mbar使用薄膜4.1mbar–100mbar兩規(guī)信號同時采用5.5x10-4mbar–1mbar采用皮拉尼信號6.輸出的真空度信號（電壓）連續(xù)，無跳躍z各種高真空泵的前級壓力測量，如z各種中低真空測量，如照明，冶金

z真空連鎖控制，高真空計的點火開關(guān)zPSG050可*替代TR211，PSG051可*替代TR216z

PCG400PCG410（現(xiàn)在已升級為PCG550，PCG400/PCG410已PSG500基本相同，但彌補(bǔ)了皮拉尼規(guī)大氣測量段精度不足的弱點，而且不受氣體類型的影響，在真空爐，單晶爐，多晶爐，藍(lán)寶石爐上廣泛應(yīng)用

PSG100PSG10議功能，在大系統(tǒng)中應(yīng)用廣泛。

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