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廣東海圣科技有限公司
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產品詳細介紹詳細參數內容規格A
| 內 容 | 規 格 | |||||
| A.一般規格 | ||||||
| 電力系統 | AC380V 3φ 50/60HZ 12 KVA | |||||
| 光源系統 | 光 源 : 間接水冷式LED面光源燈組，輸出功率大于1.7KW | |||||
| 均勻度 : 85%以上 有效曝光面積 : 22"x25" | ||||||
| 照 度 : 80mw/cm2以上 | ||||||
| Panel規格 | 尺 寸 : 12"x14"至 22"x25" | |||||
| 底片尺寸 : 24"x28"(610mm x 711mm) | ||||||
| 厚 度 : 0. 2mm至 3.0 mm | ||||||
| 曝光作業 | 單面雙框作業，順序進入曝光室 | |||||
| 底片對位系統 | 1.CCD 數量 : 4個 | |||||
| 2.CCD 功能 : 對位準度及底片漲縮檢查 | ||||||
| 3. 對位形式 : PCB 自動對位 | ||||||
| 4. 底片固定 : 雙溝槽式真空吸附，真空度-680mmHg以上 | ||||||
| 5. 靶標形式 : 上底片圓點，PC板 PAD | ||||||
| 6. 制程板固定:Pin定位 | ||||||
| 7. 制程板對位：自動對位 ± 15μm(機臺能力) | ||||||
| 操作方式 | 作業方式 : 人工取放板 | |||||
| 機臺尺寸 | 外部尺寸 : W1745 x D2790 x H2100 mm | |||||
| 外部變電箱尺寸: W1130 x D830 x H1000 mm（選配環控系統無此變電箱） | ||||||
| B.系統架構 | ||||||
| 曝光臺框 | 雙曝光臺面，玻璃 VS 金屬 | |||||
| 臺面真空 | -200~-400mmHg | |||||
| 冷 卻 | LED光源 : 循環間接水冷式 | |||||
| 曝光室 : 風冷
| ||||||
| 客戶外圍配合 | 1.室溫 22℃±2℃，濕度 55%±5%之清潔環境 | |||||
| 2.純凈水： 20L | ||||||
| 3. 外接氣源：6Kgf/cm2 (流量60~200 L/min) | ||||||
| 選 配 | □環控系統 | |||||
| 1.環控箱尺寸: L1300 x W700 x H1930 | ||||||
| 2.外部冰水要求: 7-11 ℃／40 l/min，1"管徑 x2，1/2" 管徑 x 1 | ||||||
| 3.Class 5000 HEPA 高級濾網 | ||||||
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